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桌上型-可程式旋转涂布机

桌上型-可程式旋转涂布机

 详情说明
设备概要:
适用尺寸:6”~ 8”Wafer基材。
基本规格:
Demension:530X600X450mm
外观材质:PP板组合焊接而成,可以耐酸碱侵蚀。
操作盆罩:SUS制,圆盆型设计。
盆罩掀盖:分离式透明PVC上盖。
吸盘规格:一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
操作方式:手动直接输入。
入料方式:手动给料。
液体种类:光阻剂、溶剂。
马达:AC Servo Motor(转速:10~5000 RPM)。
含真空帮浦(附PP防尘外罩)。
真空渗液保护:有,间接式防护设计。
真空简检知:有(可数位设计真空值kpa下限保护)。
保护装置:有。
保护制御:有一本装置的全部状态,异常检出。
控制系统:-软件:PLC。
真空表头:二组视窗,可显示设定值与实际值。
使用操作界面:中文彩色触控面板。
配方模块:100组配方设定。
段方步序:每一配方模块均设30段步序。
操控方式:7寸中文彩色触控人机界面系统,附有繁体、简体中文、英文操作界面,并有主轴转速曲线图。
电源:单相220V,10A。
附操作手册一份
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